Chip Layout

外观

半导体制造中的平坦化技术

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CMP

2011-11-01

1-不平坦的IC表面

1-不平坦的IC表面

2-反刻平坦化

2-反刻平坦化

3-BPSG回流平坦化

3-BPSG回流平坦化

4-淀积了ILD-2氧化层的旋涂膜层

4-淀积了ILD-2氧化层的旋涂膜层

5-CMP源理

5-CMP源理

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