标签:polycide

Process

POLYCIDE与SALICIDE结构,制程及性能详细对比

7

admin 发布于 7年前 (2011-08-25)

之前有篇《SILICIDE、SALICIDE和POLYCIDE工艺的整理》中已经对POLYCIDE与SALICIDE的区别做过比较,但只是些零散的文字性的描述,本篇将加入部分图片,用以说明POLYCIDE和SALICIDE在结构,目的,工艺,源漏电阻,热稳定性,硅和金属的互扩散以...

阅读(3682)评论(0)赞 (4)

Downs

工艺相关资料合集

admin 发布于 7年前 (2011-08-25)

半导体工艺制造相关资料合集下载 文件名称:半导体制造技术(中文版).zip 文件大小:32.4MB 115下载:http://115.com/file/e65pivj0 文件名称:半导体制造技术(英文版).zip 文件大小:14.8MB 115下载:http://115.com/...

阅读(2907)评论(8)赞 (1)

Process

SILICIDE、SALICIDE和POLYCIDE工艺的整理

admin 发布于 7年前 (2011-06-21)

Silicide、Salicide和Polycide,这三个名词对应的应用应该是一样的,都是利用硅化物来降低POLY上的连接电阻.。 SILICIDE就是金属硅化物,是由金属和硅经过物理-化学反应形成的一种化合态,其导电特性介于金属和硅之间,而POLYCIDE和SALICIDE则...

阅读(8078)评论(0)赞 (3)