分类
Process

半导体制造中的平坦化技术

1-不平坦的IC表面2-反刻平坦化3-BPSG回流平坦化4-淀积了ILD-2氧化层的旋涂膜层5-CMP源理

发表评论

电子邮件地址不会被公开。 必填项已用*标注