分类 Process 光刻中常见的效应和概念 文章作者 admin 发布日期 2010/12/15 光刻中常见的效应和概念无评论 Post views 4,048 views 1、驻波效应（Standing Wave Effect） 现象：在光刻胶曝光 […] Like 1 likes 标签 光学效应, 摆线效应, 驻波效应