分类 Process LOCOS之bird’s beak(鸟嘴效应) 文章作者 admin 发布日期 2010/11/27 LOCOS之bird’s beak(鸟嘴效应)无评论 Post views 5,520 views 在传统的硅的局部氧化（LOCOS）过程中，当氧扩散穿越已生长的氧化物时，它也会在其它方向上扩散。一些氧原子纵向 […] Like 14 likes 标签 bird's beak, STI, 半导体制造技术, 浅槽隔离, 鸟嘴效应
