分类 Process CMOS制造中的轻掺杂漏(LDD)注入工艺 文章作者 admin 发布日期 2011/8/4 CMOS制造中的轻掺杂漏(LDD)注入工艺有2条评论 Post views 4,587 views 随着栅的宽度不断减小，栅结构下的沟道长度也不断的减小， 为了有效的防止短沟道效应，在集成电路制造工艺中引入了轻 […] Like 13 likes 标签 LDD, 轻掺杂漏