POLYCIDE与SALICIDE结构,制程及性能详细对比

之前有篇《SILICIDE、SALICIDE和POLYCIDE工艺的整理》中已经对POLYCIDE与SALICIDE的区别做过比较,但只是些零散的文字性的描述,本篇将加入部分图片,用以说明POLYCIDE和SALICIDE在结构,目的,工艺,源漏电阻,...

SILICIDE、SALICIDE和POLYCIDE工艺的整理

Silicide、Salicide和Polycide,这三个名词对应的应用应该是一样的,都是利用硅化物来降低POLY上的连接电阻.。 SILICIDE就是金属硅化物,是由金属和硅经过物理-化学反应形成的一种化合态,其导电特性介于金属和...