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CMOS制作步骤(五):侧墙的形成

为了防止大剂量的源漏注入过于接近沟道从而导致沟道过短甚至源漏连通,在CMOS的LDD注入之后要在多晶硅栅的两侧形成侧墙。侧墙的形成主要有两步:1. 在薄膜区利用化学气相淀积设备淀积一层二氧化硅。2. 然后利用干法刻蚀工艺刻掉这层二氧化硅。由于所用的各向异性,刻蚀工具使用离子溅射掉了绝大部分的二氧化硅,当多晶硅露出来之后即可停止反刻,但这时并不是所有的二氧化硅都除去了,多晶硅的侧墙上保留了一部分二氧化硅。这一步是不需要掩膜的。

cmos-side-wall-formation

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